
是2017年8月化学工业出版社出版的图书,作者是郭宇。
- 书名 直拉单晶硅工艺技术(第二版)
- 作者 郭宇
- 类别 材料科学
- 出版社 化学工业出版社
- 出版时间 2017年8月
简介
本书主要内容包括单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、原辅材料的准备、直拉单晶硅生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等内容。
本书可作为各半除妒类院校太阳能光伏产业硅材料技术专业、新能源专业的教材来自,也可作为单晶硅生产企业的员工培训教材,还可作为相关专业工程技术人员的参考书。
目录
绪论1
第1章单晶硅的基本知识3
1.1晶体和非360百科晶体3
1.2单晶和多晶7
1.3空间点阵和晶胞8
1.4晶面和晶向11
1.5晶体的熔化和凝固15
1.6结晶过程的宏观特征16
1.7晶核的形成17
脱看界受聚天细春1.8二维晶核的形成18
1.9晶体的长大19
副发线深妒京 1.10生长界面结构模型21
习题23
第2章直拉单晶炉25
2.1直拉单晶炉设备简介25
2.2直拉单晶炉的结料构26
2.3机械部占给环半烧基手分27
2.4电气部分35
2.5直拉单晶炉的工作环境40
习题41
第3章直拉单晶炉的热系统及热场43
3祖联.1热系统43
3.2热系统的安装与对中46
3.3热场47
3.4温度梯度与单晶生长47
3.5热场的调整51
习题52
第4章晶体生长控制器54
4.1CGC-101A型晶体生长控制器功能简介54
4.2CGC-101A型晶体生长控制器的开关状态说明55
4.3CGC-101A型晶体生长控制器的键盘操作说明56
4.4CGC-101A型晶体生长控制器参数设置及定义61
4.5CGC-101A型晶体生长控制器使用说明64
习题65
第5章原辅材料的准备67
含环玉试既境我全企加 5.1硅原料67
5.2石英坩埚72
5.3掺犯波交跟粉矛杂剂与母合金74
5伤.4其他材料75
5.5原辅材料的腐蚀和清洗76
5.6腐蚀原理古黄在料慢起宣载振鸡及安全防护77
5.7自动左福器扩头肥字单顺陈硅料清洗机简介78
诗督言太保 习题80
第6章直拉单晶硅生长技术81
6.1直拉单晶硅工艺流程81
6.2拆炉及装料82
6.3抽空及熔料86
6.4引晶及放肩88
6.5转肩及等径91
6.6收尾及停炉93
土解菜燃判乎五木她刚 6.7拉速、温校某简观消也械陈细六曲线的设定95
6.8埚升速度的计算方法97
6.9异常情况及处理方法99
习题101
第7章铸锭多晶硅工艺102
复 7.1光伏产业简介102
7.2铸锭多晶硅炉的结构103
7.3铸锭多晶促右自留印硅工艺流程105
移种区问之另 7.4铸锭多晶硅的优缺点108
习题109
第8章掺杂技术110
8.1杂质110
8.2导电型号111
8.3熔硅中的杂质效应11苦关款为1
8.4杂质的分凝效应113
8.5Keff与K0的关系117
8.6结晶后固相中的杂质分布规律118
8.7掺杂121
习题125
附录1硅的物理化学性质(300K)126
附录2硅中杂质浓度和电阻率关系127
附录3元素周期表128
附录4立方晶系各晶面(或晶向)间的夹角129
附录5尘室的分级标准130
参考文献131