直拉单晶硅工艺技术

时间:2023-01-03 作者:admin
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是2017年8月化学工业出版社出版的图书,作者是郭宇。

  • 书名 直拉单晶硅工艺技术(第二版)
  • 作者 郭宇
  • 类别 材料科学
  • 出版社 化学工业出版社
  • 出版时间 2017年8月

简介

  本书主要内容包括单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、原辅材料的准备、直拉单晶硅生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等内容。

  本书可作为各半除妒类院校太阳能光伏产业硅材料技术专业、新能源专业的教材来自,也可作为单晶硅生产企业的员工培训教材,还可作为相关专业工程技术人员的参考书。

目录

  绪论1

  第1章单晶硅的基本知识3

  1.1晶体和非360百科晶体3

  1.2单晶和多晶7

  1.3空间点阵和晶胞8

  1.4晶面和晶向11

  1.5晶体的熔化和凝固15

  1.6结晶过程的宏观特征16

  1.7晶核的形成17

  脱看界受聚天细春1.8二维晶核的形成18

  1.9晶体的长大19

副发线深妒京  1.10生长界面结构模型21

  习题23

  第2章直拉单晶炉25

  2.1直拉单晶炉设备简介25

  2.2直拉单晶炉的结构26

  2.3机械部占给环半烧基手分27

  2.4电气部分35

  2.5直拉单晶炉的工作环境40

  习题41

  第3章直拉单晶炉的热系统及热场43

  3祖联.1热系统43

  3.2热系统的安装与对中46

  3.3热场47

  3.4温度梯度与单晶生长47

  3.5热场的调整51

  习题52

  第4章晶体生长控制器54

  4.1CGC-101A型晶体生长控制器功能简介54

  4.2CGC-101A型晶体生长控制器的开关状态说明55

  4.3CGC-101A型晶体生长控制器的键盘操作说明56

  4.4CGC-101A型晶体生长控制器参数设置及定义61

  4.5CGC-101A型晶体生长控制器使用说明64

  习题65

  第5章原辅材料的准备67

含环玉试既境我全企加  5.1硅原料67

  5.2石英坩埚72

  5.3掺犯波交跟粉矛杂剂与母合金74

  5.4其他材料75

  5.5原辅材料的腐蚀和清洗76

  5.6腐蚀原理古黄在料慢起宣载振鸡及安全防护77

  5.7自动左福器扩头肥字单顺陈硅料清洗机简介78

 诗督言太保 习题80

  第6章直拉单晶硅生长技术81

  6.1直拉单晶硅工艺流程81

  6.2拆炉及装料82

  6.3抽空及熔料86

  6.4引晶及放肩88

  6.5转肩及等径91

  6.6收尾及停炉93

 土解菜燃判乎五木她刚 6.7拉速、温校某简观消也械陈细六曲线的设定95

  6.8埚升速度的计算方法97

  6.9异常情况及处理方法99

  习题101

  第7章铸锭多晶硅工艺102

  7.1光伏产业简介102

  7.2铸锭多晶硅炉的结构103

  7.3铸锭多晶促右自留印硅工艺流程105

 移种区问之另 7.4铸锭多晶硅的优缺点108

  习题109

  第8章掺杂技术110

  8.1杂质110

  8.2导电型号111

  8.3熔硅中的杂质效应11苦关款为1

  8.4杂质的分凝效应113

  8.5Keff与K0的关系117

  8.6结晶后固相中的杂质分布规律118

  8.7掺杂121

  习题125

  附录1硅的物理化学性质(300K)126

  附录2硅中杂质浓度和电阻率关系127

  附录3元素周期表128

  附录4立方晶系各晶面(或晶向)间的夹角129

  附录5尘室的分级标准130

  参考文献131

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