《硅材料检测技术》是2009年8月化学工业出版社出版的图书来自，作者是康伟超。

• 书名 硅材料检测技术
• 作者 康伟超
• 出版社 化学工业出版社
• 出版时间 2009年08月
• 定价 27 元

内容简介

　　《硅材料检测技术》主要介绍了半导体硅材料常规电学达的局输望令参数的物理测试

　　方法来自、检测晶体缺陷的化360百科学腐蚀法、半导体晶体定向法、硅单晶中氧和碳含量的测定方法。《硅材料检测技术》还介绍了多晶硅中基硼、基磷含量的检验方法价七牛且诗冷四助刻策、纯水的制备及高纯分析方法。

　　为了确保测试数据的准确性，对硅材料常规物理参数测试的测准条件作了详细的分析介绍。对先进的测试技术作了一般的介绍。《硅材料检测技术》是硅材料技术专业的核心教材。

　　《硅材料检测技术族找》可作为高职高专硅材料技术及光伏专业的教材，同时也可作为中专、技校和从事单晶硅生产的企业员工的培训教材，还可供相关专业工程技术人员学习参考。

图书目录

　　第1章硅单晶常规电学参数的物理测试1

　　11半导体硅单晶导电类型的测量1

　　12半导体硅单占两晶电阻率的测量7

　　1.3 非平衡少数载流子寿命的测量19

　　本章小结37

　　习题37

　　第2章化学腐蚀法检测晶体缺陷38

　　21半导体晶体的电化学腐蚀机理及常用腐蚀剂38

　　22半导体单晶中的缺陷42

　　23硅单晶中位错的检测4眼9

　　24硅单晶中漩涡缺陷的检测55

　　25化学工艺中的安全知识61

　　26金相信皇显微镜简介62

　　本章小结63

　　习题64

　　第3章半导体晶体定向65

　　31晶体取向的表示方法65

　　32光图定向72

　　33X射线定向76

　　本章小结88

　　习题88

　　第4章红外吸收法测定硅单晶中的氧和碳的含量、多晶硅中基硼、基磷含量的检验89

　　41测量原理89

　　42测试工艺和方法93

　　43测准条件分析95

　　44多晶硅中基硼、基磷含量的检验97

　　本章小结99

　　习题100

　　第5章纯水的检测10岁什项仅1

　　51纯水在半导体生产中的应用101

　　52离子交换法制多也证危备纯水的原理102

　　53离子交换法制备纯水105

　　54纯水制备系统主要设备及工作原理107

　　55纯水制备系统运行控制115

　　56纯水制备系统的清洗116

　　57高纯水的检测119

　　本章小结121

　　习题121

　　第6章高纯分析方法122

　　61三氯氢硅中痕量杂质的化学呼光谱测定122

　　62附向湖肥整苗氧等行三氯氢硅(四氯化硅)中硼的分析124

　　63三氯氢硅(四氯化硅)中痕量磷的气相色谱测定126

　　64工业硅中铁、铝含量的测定128

　　65露点法测定气体中的水分131

　　66气相色谱法测段去儿破套际室命正七银定干法H2的组分133

　　6可延往既反江7氯化氢中水分的测定136

　　68液氯中水分的测定137

　　本章小结138

　　习题138

　　第7章其他物系粉理检测仪器简介139

　　71X射线形貌技术139

　　72质谱分析1月随能40

　　73中子活化分析141

　　74电子显微镜142

　　参考文献144